प्लाझ्मा क्लीनर्सचे विशिष्ट अनुप्रयोग

प्लाझ्मा क्लीनिंग/एचिंग मशीन्स इलेक्ट्रिक फील्ड तयार करण्यासाठी सीलबंद कंटेनरमध्ये दोन इलेक्ट्रोड ठेवून प्लाझ्मा तयार करतात. व्हॅक्यूम पंप विशिष्ट व्हॅक्यूम पातळी राखण्यासाठी वापरला जातो. जसजसा वायू अधिकाधिक दुर्मिळ होत जातो, तसतसे रेणू आणि रेणू किंवा आयनांची मुक्त हालचाल यांच्यातील अंतर देखील वाढते. विद्युत क्षेत्राच्या प्रभावाखाली, हे आयन आदळतात आणि प्लाझ्मा तयार करतात. हे आयन अत्यंत प्रतिक्रियाशील असतात, जवळजवळ सर्व रासायनिक बंध तोडण्यासाठी पुरेशी उर्जा असते, ज्यामुळे कोणत्याही उघडलेल्या पृष्ठभागावर रासायनिक अभिक्रिया होतात. वेगवेगळ्या गॅस प्लाझ्मामध्ये वेगवेगळे रासायनिक गुणधर्म असतात. उदाहरणार्थ, ऑक्सिजन प्लाझ्मा उच्च ऑक्सिडायझिंग आहे, वायू तयार करण्यासाठी फोटोरेसिस्टचे ऑक्सिडायझेशन करण्यास सक्षम आहे, अशा प्रकारे साफसफाईचा प्रभाव प्राप्त होतो. संक्षारक गॅस प्लाझ्मामध्ये उत्कृष्ट ॲनिसोट्रॉपी असते, जी कोरीव कामाची आवश्यकता पूर्ण करते. प्लाझ्मा उपचारामुळे चमक निर्माण होते, म्हणून ग्लो डिस्चार्ज असे नाव आहे.
पृष्ठभागावरील डाग काढून टाकण्यासाठी प्लाझ्मा साफ करण्याची यंत्रणा प्रामुख्याने प्लाझ्मामधील सक्रिय कणांच्या "सक्रियतेवर" अवलंबून असते. प्रतिक्रिया यंत्रणेच्या दृष्टीने, प्लाझ्मा साफसफाईमध्ये सामान्यतः खालील प्रक्रियांचा समावेश होतो: अजैविक वायू प्लाझ्मा अवस्थेत उत्तेजित होतात; वायूयुक्त पदार्थ घन पृष्ठभागावर शोषले जातात; शोषलेले गट घन पृष्ठभागावरील रेणूंशी प्रतिक्रिया देऊन उत्पादनाचे रेणू तयार करतात; उत्पादनाचे रेणू वायूच्या टप्प्यात विघटित होतात; आणि प्रतिक्रियेचे अवशेष पृष्ठभागावरून काढून टाकले जातात.

प्लाझ्मा क्लीनिंग तंत्रज्ञानाचे सर्वात महत्त्वाचे वैशिष्ट्य म्हणजे ते कोणत्याही सब्सट्रेट प्रकारावर उपचार करू शकते, ज्यामध्ये धातू, अर्धसंवाहक, ऑक्साईड आणि बहुतेक पॉलिमर सामग्री जसे की पॉलीप्रोपीलीन, पॉलिस्टर, पॉलिमाइड, पॉलिव्हिनाईल क्लोराईड, इपॉक्सी आणि अगदी पॉलीटेट्राफ्लुरोइथिलीन यांचा समावेश होतो. हे संपूर्ण पृष्ठभाग आणि विशिष्ट क्षेत्रे तसेच जटिल संरचना दोन्ही साफ करू शकते.