प्लाझ्मा एचिंग मशीन स्ट्रक्चर

ICP उपकरणामध्ये प्रामुख्याने चार भाग असतात: प्री-व्हॅक्यूम चेंबर, एचिंग चेंबर, गॅस सप्लाय सिस्टम आणि व्हॅक्यूम सिस्टम.

(१) प्री-व्हॅक्यूम चेंबर

प्री-व्हॅक्यूम चेंबरचे कार्य हे सुनिश्चित करणे आहे की एचिंग चेंबर सेट व्हॅक्यूम स्तरावर राखले जाते, बाह्य वातावरणाने (जसे की धूळ, पाण्याची वाफ) प्रभावित होत नाही आणि स्वच्छ खोलीतून घातक वायू वेगळे करतात. यात कव्हर, मॅनिपुलेटर, ट्रान्समिशन मेकॅनिझम, आयसोलेशन डोअर इ.

(२) एचिंग चेंबर

एचिंग चेंबर ही आयसीपी एचिंग उपकरणाची मुख्य रचना आहे. कोरीव कामाचा दर, कोरीव कामाची अनुलंबता आणि खडबडीतपणा यावर त्याचा थेट परिणाम होतो. एचिंग चेंबरचे मुख्य घटक आहेत: अप्पर इलेक्ट्रोड, आयसीपी रेडिओ फ्रिक्वेन्सी युनिट, आरएफ रेडिओ फ्रिक्वेन्सी युनिट, लोअर इलेक्ट्रोड सिस्टम, तापमान नियंत्रण प्रणाली इ.

(3) गॅस पुरवठा यंत्रणा

गॅस सप्लाई सिस्टीम म्हणजे एचिंग चेंबरमध्ये विविध नक्षी वायू पोहोचवणे आणि दाब नियंत्रक (पीसी) आणि मास फ्लो कंट्रोलर (एमएफसी) द्वारे गॅस प्रवाह दर आणि प्रवाह अचूकपणे नियंत्रित करणे. गॅस पुरवठा प्रणालीमध्ये गॅस स्त्रोताची बाटली, गॅस वितरण पाइपलाइन, एक नियंत्रण प्रणाली, एक मिक्सिंग युनिट इ.

(4) व्हॅक्यूम सिस्टम
दोन व्हॅक्यूम सिस्टम आहेत, एक प्री-व्हॅक्यूम चेंबरसाठी आणि दुसरी एचिंग चेंबरसाठी. प्री-व्हॅक्यूम चेंबर यांत्रिक पंपाद्वारे रिकामा केला जातो. जेव्हा प्री-व्हॅक्यूम चेंबरमधील व्हॅक्यूम पातळी सेट मूल्यापर्यंत पोहोचते तेव्हाच वेफर हस्तांतरित करण्यासाठी आयसोलेशन दरवाजा उघडला जाऊ शकतो. एचिंग चेंबरमधील व्हॅक्यूम यांत्रिक पंप आणि आण्विक पंपद्वारे प्रदान केला जातो. एचिंग चेंबरमधील अभिक्रियामुळे निर्माण होणारे वायू देखील व्हॅक्यूम प्रणालीद्वारे बाहेर काढले जातात.